EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie)
Kombiniert mit dem REM erlaubt ein modernes EDX-System präzise Elementanalysen auch an kleinsten Proben. Durch

Die Bestimmung der Zusammensetzung von Festkörpern und Oberflächen spielt eine zentrale Rolle in der Schadensanalyse und Qualitätssicherung. Verschiedene hochpräzise Analysemethoden bieten detaillierte Einblicke in Materialeigenschaften und Oberflächenzustände.






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Die Auger-Elektronen-Spektroskopie gehört zu den oberflächenempfindlichsten Methoden zur Elementanalyse. Durch Beschuss der Oberfläche mit hochenergetischer
Die ToF-SIMS-Technik analysiert die atomare und molekulare Zusammensetzung der obersten 1–3 Monolagen eines Festkörpers. Dabei
Die Röntgenphotoelektronenspektroskopie dient der qualitativen und quantitativen Bestimmung der Zusammensetzung von Festkörpern und Oberflächen. Die
Die Röntgendiffraktometrie basiert auf der Beugung von Röntgenstrahlen an Kristallgittern. Die Atome eines Kristalls wirken
Die Glimmentladungsspektroskopie ist ein Verfahren zur qualitativen und quantitativen Elementanalyse, das insbesondere für Schichtaufbauten geeignet