Glimmentladungsspektroskopie (GDOES)

Die Glimmentladungsspektroskopie ist ein Verfahren zur qualitativen und quantitativen Elementanalyse, das insbesondere für Schichtaufbauten geeignet ist. Bei der Analyse wird die metallische Probe als Kathode in einem Argonplasma verwendet. Die Oberfläche wird schichtweise durch Kathodenzerstäubung abgetragen.

Die freigesetzten Atome werden im Plasma durch Stöße angeregt und emittieren Photonen mit charakteristischen Wellenlängen. Diese werden spektroskopisch analysiert. Mit einer hochfrequenten Wechselspannung können auch nichtmetallische Proben untersucht werden.