Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES)

Die Auger-Elektronen-Spektroskopie gehört zu den oberflächenempfindlichsten Methoden zur Elementanalyse. Durch Beschuss der Oberfläche mit hochenergetischer Strahlung (UV- oder Röntgenstrahlen) oder Elektronenstrahlen werden Atome angeregt, die Elektronen mit charakteristischer kinetischer Energie emittieren.

Die erhaltenen Spektren erlauben die Zuordnung von Elementen und deren Konzentrationen. Diese zerstörungsfreie Methode eignet sich hervorragend zur Analyse von Halbleitern und Metallen, etwa zur Erkennung von Kohlenstoffverunreinigungen auf Klebeflächen oder elektrischen Kontakten. Die Nachweisgrenzen liegen unter 0,1 at%