Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS/ESCA)

Die Röntgenphotoelektronenspektroskopie dient der qualitativen und quantitativen Bestimmung der Zusammensetzung von Festkörpern und Oberflächen. Die Analyse ist auf wenige Nanometer Eindringtiefe begrenzt. Durch schichtweises Abtragen lassen sich auch Tiefenprofile erstellen.

Bis auf Wasserstoff und Helium können alle Elemente detektiert werden. Besonders für schwerere Elemente bietet XPS eine hohe Empfindlichkeit (ca. 0,1 at-%). Zudem ermöglicht die Methode Aussagen über den chemischen Zustand der Elemente