EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie)

Kombiniert mit dem REM erlaubt ein modernes EDX-System präzise Elementanalysen auch an kleinsten Proben. Durch die Anregung der Atome mittels Elektronenstrahl emittiert die Probe charakteristische Röntgenstrahlung, die vom Siliziumdriftdetektor erfasst wird. Die Ergebnisse werden als Spektrum oder Elementverteilungsbild dargestellt. Die Methode kann Elemente ab Bor nachweisen; ab Natrium ist eine quantitative Analyse mit einer Nachweisgrenze von 0,1 Gew.-% möglich.

Normen: AV 272-Mat